二、碳化硅導軌框架

我單位生產(chǎn)的碳化硅導軌及框架具有耐壓性、不泄露等特點，適用于光刻機及刻蝕機的等裝備的關鍵部位。

主要技術指標：

表3：導軌框架性能指標

圖16 多孔吸盤面型

四、碳化硅反射鏡

基于碳化硅陶瓷材料的優(yōu)異性能，結(jié)合本單位碳化硅結(jié)構件的制備工藝，開發(fā)出具有復雜輕量化結(jié)構及面型精度的機載、車載碳化硅反射鏡，并將反射鏡制備技術用于無人車自動駕駛激光雷達用碳化硅反射鏡片，為無人駕駛汽車自動駕駛提供“眼睛”，實現(xiàn)了碳化硅反射鏡在民用領域的應用。

五、其他碳化硅陶瓷部件

   除此之外，本單位還生產(chǎn)碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盤等高精密部件，用于IC制造行業(yè)的硅片傳輸及刻蝕機用晶圓的承載，為IC制造業(yè)提供支撐。